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J-GLOBAL ID：200903037264745493

反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法

Inventor：
加藤 清一

About 加藤 清一

, 
佐藤 洋一

About 佐藤 洋一


Applicant, Patent owner：
積水化学工業株式会社

About 積水化学工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995271137
Publication number (International publication number)：1997113460
Application date： Oct. 19, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 反射型偏光体の粘着層中の泡を正確、かつ、迅速に検出できる反射型偏光体の欠陥検査装置及び欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 まず、光射出装置212から、反射型偏光体1の偏光フィルムの偏光面と略直交する偏光面をもつ偏光子22を介して、直線偏光として反射型偏光体1へ向けて投光し、ビデオカメラ24により反射光を受光する際、偏光フィルムの、照射光が到来してくる方向と反対側からの反射光を除去した反射型偏光体1の中の泡候補を検出し、次に、偏光子22を取り外し、光学顕微鏡23の倍率を、偏光子22を取り付けて検査したときの倍率の略2倍の倍率とし、ステージ面251を垂直方向に移動させて、光学顕微鏡23の焦点を粘着層内に合わせ、検出した泡候補の箇所に的を絞って検査して、ガラス基板側の粘着層の中の泡を検出する。
Claim (excerpt)：
透明基板-偏光フィルム-反射層の層構造をなし、かつ、前記透明基板と前記偏光フィルムとが、粘着層を介して接合されてなる反射型偏光体の前記粘着層内に存在する泡を検出するための欠陥検出装置であって、前記反射型偏光体を載置するXYZ方向に移動可能なXYZステージと、該XYZステージの載置面に対して、略垂直方向に配置された照明用光源と、前記XYZステージの載置面上の前記反射型偏光体の偏光面に対して略直交する偏光面を持つように配置され、かつ、前記照明用光源からの前記反射型偏光体への入射光線束の光線路上に、かつ、該光線路に対して略直角に配置された着脱可能な偏光子と、前記反射型偏光体の層内に存在する泡や傷の光学像を形成させる倍率可変の結像光学系と、該結像光学系によって得られた泡や傷の光学像を電荷像に変換して撮像データとして出力するための撮像手段と、該撮像手段から低倍率で得た第1の撮像データに対して、予め設定された第1の基準値に基づいて、2値化処理を施すことにより、前記透明基板の傷も含まれる泡候補を抽出する泡候補抽出手段と、前記撮像手段から高倍率で、かつ、前記泡候補抽出手段によって抽出された前記泡候補に的を絞ると共に、前記反射型偏光体の粘着層内にピントを合わせることにより得た第2の撮像データに対して、予め設定された第2の基準値に基づいて、2値化処理を施すことにより、前記粘着層内に発生した泡のみの抽出処理を行う泡抽出処理手段とを備えてなることを特徴とする反射型偏光体の欠陥検出装置。
IPC (4)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/00 ,  G06T 7/00
FI (4)：
G01N 21/88 F ,  G01B 11/30 G ,  G01M 11/00 T ,  G06F 15/62 405 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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