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J-GLOBAL ID：200903037275907398

強誘電体薄膜形成用塗布溶液

Inventor： 桂木 速人 ,  山手 拓 ,  森 清人
Applicant, Patent owner： 関東化学株式会社
Agent (1)： 川上 宣男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996114323
Publication number (International publication number)：1997278415
Application date： Apr. 12, 1996
Publication date： Oct. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 基板上に強誘電体薄膜を形成させるための毒性が低く、生殖機能への影響が少ない安全な塗布溶液を開発すること。【解決手段】 プロピレングリコールモノメチルエーテルおよび、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

Claim (excerpt)：

プロピレングリコールモノメチルエーテルおよび、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

IPC (5)：

C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  C01G 35/00 ,  H01L 41/18

FI (5)：

C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  C01G 35/00 ,  H01L 41/18 101 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 酸化物薄膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-134851   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• ジルコニウム系複合酸化物形成用塗布液及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-005996   Applicant：東京応化工業株式会社