走査型プローブ顕微鏡の測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田宮寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996144975
Publication number (International publication number)：1997304408
Application date： May. 15, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】或る測定点の測定を終了して他の測定点への測定に移る場合に、高速な移動を行い、使い勝手を良好にする。【解決手段】試料表面の測定点を観察装置15で探し出し、カンチレバー21の探針22を、測定点に物理量が作用し合う程度の距離まで接近させ、カンチレバーが変位するとき、変位量を検出し、カンチレバーの変位が一定に保持されるように制御して測定を行い、試料表面上での複数の測定点に探針を移動させて上記測定を行うことにより、試料表面を測定する。さらに、或る測定点での測定が終了した後に他の測定点を測定する場合、試料が移動を開始する時、探針を試料表面から離れるように退避させ、観察装置で目標となる他の測定点が捕らえられて試料の位置が確定して停止した時、探針を他の測定点に接近させる。

Claim (excerpt)：

試料の表面の測定点を観察装置で探し出し、カンチレバーの先部に設けた探針を、前記測定点に対して両者の間で物理量が作用し合う程度の距離まで接近させ、前記探針に作用する前記物理量によって前記カンチレバーが変位するとき、この変位量を検出し、前記カンチレバーの変位が一定に保持されるように制御して測定を行い、前記試料の表面上での複数の測定点の各々に前記探針を移動させて前記測定を行うことにより、前記試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡の測定方法において、前記探針によって、或る測定点での測定が終了した後、他の測定点を測定するとき、前記試料が移動を開始する時、前記探針を試料表面から離れるように退避させ、前記試料の位置が確定して停止した時、前記探針を前記他の測定点に接近させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-369407
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-078781 Applicant：株式会社ニコン
特開平4-369407

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