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J-GLOBAL ID：200903037712126643

基板処理装置

Inventor：
志賀 正佳

About 志賀 正佳

, 
山本 聡

About 山本 聡

, 
小山 康文

About 小山 康文


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003103101
Publication number (International publication number)：2004311714
Application date： Apr. 07, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：
【課題】基板の製造工程に係る複数の装置の中の他の装置において動作異常が発生した時に当該他の装置において処理中であった基板の良否を、生産効率を著しく低下させることなく判定することができる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る基板処理装置100は、検査ユニット61〜64と制御手段90とを備え、制御手段90は他の基板処理装置200の制御手段290と通信ラインNを介して接続されている。基板処理装置200において動作異常が発生した場合は、その時基板処理装置200内で処理を受けていた基板を特定する情報を制御手段290から制御手段90へ受信し、その情報に基づいて基板を検査ユニット61〜64へ搬送して、検査を行う。このようにして、生産効率を著しく低下させることなく、当該基板の良否を判定することができる。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
基板の製造工程に係る諸処理を分担して行う複数の装置の中の1つとして設置される基板処理装置であって、 基板の搬送を行う搬送手段と、 基板に対して所定の検査を行う検査部と、 前記複数の装置の中の前記基板処理装置以外の他の装置において動作異常が発生した時に前記他の装置において処理を受けていた基板を指定する情報を含む所定の情報を、前記基板処理装置の外部より受信し、前記所定の情報に基づいて前記検査部へ基板を搬送させるように前記搬送手段を制御する制御手段と、 を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (4)：
H01L21/027 ,  G03F7/30 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68
FI (4)：
H01L21/30 562 ,  G03F7/30 501 ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/68 A
F-Term (35)：
2H096AA24 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA12 ,  2H096GA21 ,  2H096GB03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA59 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02 ,  5F031PA10 ,  5F046AA17 ,  5F046AA28 ,  5F046DB14 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046KA10 ,  5F046LA11 ,  5F046LA18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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