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J-GLOBAL ID：200903038046472198

欠陥検査方法

Inventor：
前田 俊二

About 前田 俊二

, 
酒井 薫

About 酒井 薫

, 
岡部 隆史

About 岡部 隆史


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002073504
Publication number (International publication number)：2003271927
Application date： Mar. 18, 2002
Publication date： Sep. 26, 2003
Summary：
【要約】【課題】検査対象画像を参照画像と比較してその差異から欠陥を検出する欠陥検査において、画像間の明るさの違いによる虚報の発生を防止するため、しきい値を大きく設定し、感度を落とすことを余儀なくされていた。【解決手段】検査対象画像と参照画像の差異が小さくなるように、散布図分解を行い比較する、或いは、比較対象の合わせ込みを行う。これにより、ウェハ内の膜厚の違いにより生じる画像間の違い等を許容でき、感度を落とさず虚報の発生を防止できる。
Claim (excerpt)：
検査対象となる試料の画像を基準となる参照画像と比較して、欠陥を検出する欠陥検査方法であって、検査対象画像と参照画像の明るさやコントラストなど、定めた特徴を軸にもつ多次元空間に投票し、この投票データを用いて、欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (5)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G06T 7/00 300 ,  H01L 21/66
FI (5)：
G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G06T 7/00 300 F ,  H01L 21/66 J
F-Term (59)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL05 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA25 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ40 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096EA12 ,  5L096GA07 ,  5L096JA03 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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