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J-GLOBAL ID：200903038273516436

薄膜密着性評価方法

Inventor： 桐田 科 ,  河嶋 利孝 ,  下田 和人
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (3)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005106643
Publication number (International publication number)：2006284453
Application date： Apr. 01, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：

【課題】 nmオーダーレベルの膜厚である薄膜の密着力を、定量的に再現性良く、評価する。【解決手段】 ダイヤモンド圧子10をプラスチック基板1上に成膜された薄膜2にある荷重Fをかけながら押し込んで、押し込み深さ-荷重曲線特性を測定し、得られた押し込み深さ-荷重曲線特性における膜が弾性変形から塑性変形に変わる変位点を剥離点とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

プラスチック基板上に成膜された薄膜と基材との密着性を定量的に評価する薄膜密着性評価方法であって、 ダイヤモンド圧子を薄膜にある荷重をかけながら押し込んで、押し込み深さ-荷重曲線特性を測定し、得られた押し込み深さ-荷重曲線特性における膜が弾性変形から塑性変形に変わる変位点を剥離点とすることを特徴とする薄膜密着性評価方法。

IPC (2)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/00

FI (2)：

G01N19/04 B ,  G01N3/00 P

F-Term (7)：

2G061AB01 ,  2G061BA00 ,  2G061CA20 ,  2G061DA01 ,  2G061EA01 ,  2G061EA02 ,  2G061EC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 硬質薄膜の密着性評価方法及び密着性評価試験装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-321000   Applicant：広島県
• 薄膜密着強度評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-230418   Applicant：トヨタ自動車株式会社, ユケン工業株式会社