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J-GLOBAL ID：200903038452652849
はんだ付け用チャンバおよびその雰囲気形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺澤 襄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992145716
Publication number (International publication number)：1993337677
Application date： Jun. 05, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 チャンバ本体内に不活性ガスを過剰に供給しなくても極めて低酸素濃度の雰囲気を短時間で形成できるようにする。【構成】 チャンバ本体36の内部を、多数の隔壁板によりプリヒートゾーン41,42,43、リフローゾーン44,45および冷却ゾーン46に区画形成する。チャンバ本体36の外部に、イソプロピルアルコール61を収容したアルコール槽62を設ける。この槽62から引出された管路63中に、チャンバ本体内酸素濃度に応じてチャンバ本体内へのアルコール供給量を制御するポンプ64を設ける。管路63を前記チャンバ本体36の各ゾーン上部に取付けられたノズル65に接続する。ノズル65からチャンバ本体36内に噴霧されてガス化したアルコールとチャンバ本体内残留酸素とが燃焼用ヒータ66により激しく酸化反応すると、チャンバ本体内酸素濃度が低下する。
Claim (excerpt)：
チャンバ本体内に不活性ガスを供給し、低酸素濃度雰囲気下ではんだ付けを行うはんだ付け用チャンバにおいて、可燃性流体をチャンバ本体内に供給する可燃性流体供給部と、チャンバ本体内酸素濃度に応じてチャンバ本体内への可燃性流体の供給量を制御する可燃性流体制御部と、前記チャンバ本体内に配置され可燃性流体とチャンバ本体内残留酸素とを化合させる酸化反応部とを具備したことを特徴とするはんだ付け用チャンバ。
IPC (3)：
B23K 31/02 310
, B23K 1/08 320
, F27D 7/06
