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J-GLOBAL ID:200903038690361100
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997268655
Publication number (International publication number):1999106651
Application date: Oct. 01, 1997
Publication date: Apr. 20, 1999
Summary:
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水酸基、または炭素数1から10までのアルキル基、アルコキシル基。nは5から100000までの整数、mは1または2の整数、pは1から4までの整数を示す。)
Claim (excerpt):
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から10までの有機基。nは5から100000までの整数、mは、1または2の整数、p、qは1から4までの整数。)
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開平4-204945
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感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-115526
Applicant:東レ株式会社
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感光性ポリイミド前駆体組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-198425
Applicant:東レ株式会社
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特開平4-204945
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特開平4-204945
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