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J-GLOBAL ID：200903038714906014

高速原子線源

Inventor：
畠山 雅規

About 畠山 雅規


Applicant, Patent owner：
株式会社荏原製作所

About 株式会社荏原製作所


Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996248767
Publication number (International publication number)：1998074735
Application date： Aug. 30, 1996
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：
【要約】【課題】 直進性と中性化率の制御性が高く、しかも、加速したラジカルの失活を抑えてエネルギー効率良く高速原子線を生成して、高アスペクト比の微細加工を効率よく行うことができる高速原子線源を提供する。【解決手段】 内部にプラズマ空間28を形成する放電容器10に、原子放出孔12を有する平板状の放出電極14と、これに対向して配置される対向電極26とが設けられ、これらの電極による電場でプラズマ空間に発生したプラズマ中のイオンを放出電極に向けて加速し、加速されたイオンを放出電極近傍において中性化して高速原子として原子放出孔から放出するようにした高速原子線源において、原子放出孔12bは少なくともその一部が孔の方向に沿って断面の形状及び/又は面積が変化するようになっている。
Claim (excerpt)：
内部にプラズマ空間を形成する放電容器に、原子放出孔を有する平板状の放出電極と、これに対向して配置される対向電極とが設けられ、これらの電極による電場で該プラズマ空間に発生したプラズマ中のイオンを放出電極に向けて加速し、加速された前記イオンを放出電極近傍において中性化して高速原子として前記原子放出孔から放出するようにした高速原子線源において、前記原子放出孔は断面が外部に向かって広がる形状であることを特徴とする高速原子線源。
IPC (5)：
H01L 21/3065 ,  G21K 5/04 ,  H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H05H 3/02
FI (5)：
H01L 21/302 B ,  G21K 5/04 A ,  H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H05H 3/02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
  • 高速原子線源
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-141330   Applicant：株式会社荏原製作所
  • 励起原子線源
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-236744   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 特開平1-313897
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Cited by examiner (8)
  • 特開平1-313897
  • 高速原子線源
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-141330   Applicant：株式会社荏原製作所
  • 励起原子線源
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-236744   Applicant：松下電器産業株式会社
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