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J-GLOBAL ID:200903038786288110
着色被膜の形成方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998350926
Publication number (International publication number):2000167476
Application date: Dec. 10, 1998
Publication date: Jun. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】基板11上に着色塗布膜をスリットコータで形成し、スピンコータで平滑化・乾燥させ着色被膜を形成する際に、スジムラや段ムラを原因としたムラは観視されず、表面平滑性の優れた、良好な表示装置用カラーフィルタを製造する着色被膜の形成方法を提供すること。【解決手段】基板11上に着色塗布液23をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させて着色被膜を形成する際に、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて着色被膜を形成すること。
Claim (excerpt):
基板上に着色塗布液をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、形成した塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させる基板上への着色被膜の形成方法において、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚に水平状態の基板上にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて該塗布膜を平滑化・乾燥させ、着色被膜を形成することを特徴とする着色被膜の形成方法。
IPC (4):
B05D 1/40
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16 501
, G03F 7/38 501
FI (4):
B05D 1/40 A
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16 501
, G03F 7/38 501
F-Term (19):
2H025AA00
, 2H025AB13
, 2H025AB17
, 2H025EA04
, 2H048AA09
, 2H048BA43
, 2H048BA48
, 2H096AA00
, 2H096AA28
, 2H096BA20
, 2H096CA13
, 2H096CA20
, 4D075AC04
, 4D075AC64
, 4D075AC92
, 4D075BB24Z
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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塗布方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-038350
Applicant:東京応化工業株式会社
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塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-014538
Applicant:東レ株式会社
-
枚葉塗工体の製造方法およびその製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-140923
Applicant:東レ株式会社
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