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J-GLOBAL ID:200903038786288110

着色被膜の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998350926
Publication number (International publication number):2000167476
Application date: Dec. 10, 1998
Publication date: Jun. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】基板11上に着色塗布膜をスリットコータで形成し、スピンコータで平滑化・乾燥させ着色被膜を形成する際に、スジムラや段ムラを原因としたムラは観視されず、表面平滑性の優れた、良好な表示装置用カラーフィルタを製造する着色被膜の形成方法を提供すること。【解決手段】基板11上に着色塗布液23をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させて着色被膜を形成する際に、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて着色被膜を形成すること。
Claim (excerpt):
基板上に着色塗布液をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、形成した塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させる基板上への着色被膜の形成方法において、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚に水平状態の基板上にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて該塗布膜を平滑化・乾燥させ、着色被膜を形成することを特徴とする着色被膜の形成方法。
IPC (4):
B05D 1/40 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/38 501
FI (4):
B05D 1/40 A ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/38 501
F-Term (19):
2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  2H048AA09 ,  2H048BA43 ,  2H048BA48 ,  2H096AA00 ,  2H096AA28 ,  2H096BA20 ,  2H096CA13 ,  2H096CA20 ,  4D075AC04 ,  4D075AC64 ,  4D075AC92 ,  4D075BB24Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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