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J-GLOBAL ID：200903038866037038

電圧駆動素子

Inventor：
岡田 直剛

About 岡田 直剛

, 
菊池 尊行

About 菊池 尊行


Applicant, Patent owner：
日本碍子株式会社

About 日本碍子株式会社


Agent (2)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005188660
Publication number (International publication number)：2007010361
Application date： Jun. 28, 2005
Publication date： Jan. 18, 2007
Summary：
【課題】目的物質と相互作用する膜を有する電圧駆動素子において、同等の膜数を有する素子において成膜工程を単純化できるような構造を提供する。【解決手段】電圧駆動素子1は、電圧印加によって駆動可能な基板2、基板2上に設けられ、基板2に対して電圧を印加するための電極膜3A〜3F、および電極膜上に設けられた被膜5B〜5Fを備えている。電極膜のうち被膜によって被覆されていない露出部分が、目的物質と相互作用する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
電圧印加によって駆動可能な基板、 前記基板上に設けられ、前記基板に対して電圧を印加するための電極膜、および 前記電極膜上に設けられた被膜を備えており、 前記電極膜のうち前記被膜によって被覆されていない露出部分が、目的物質と相互作用することを特徴とする、電圧駆動素子。
IPC (6)：
G01N 5/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (8)：
G01N5/02 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特公平3-40817号公報
  • 質量測定装置および方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-199214   Applicant：日本碍子株式会社
Cited by examiner (4)
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