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J-GLOBAL ID：200903038981848953

紫外線照射装置及び紫外線照射方法

Inventor： 河崎 仁彦 ,  青木 陽太
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 山口 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006326720
Publication number (International publication number)：2008141038
Application date： Dec. 04, 2006
Publication date： Jun. 19, 2008
Summary：

【課題】発光ダイオードを用いた場合の利点を保有しつつ、紫外線硬化型の接着剤の未硬化領域を生じさせることのない紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供すること。【解決手段】紫外線硬化型接着剤層18を介して保護シートSが貼付された半導体ウエハWを被照射体とし、これに相対する位置に複数の紫外線発光ダイオード21を基板20上に配置した紫外線照射部12が設けられている。発光ダイオード21は、ウエハWとの相対移動方向に対して略直交する方向に沿って略等間隔を隔てて配置されているとともに、各列における発光ダイオード21は、略同一のピーク波長を有する一方、隣り合う発光ダイオード21のピーク波長は必ずしも同一でないように構成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被照射体に相対する位置に紫外線発光体が配置された紫外線照射装置において、 前記紫外線発光体は、ピーク波長が異なる複数種の紫外線発光ダイオードにより構成されていることを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (2)：

H01L 33/00 ,  H01L 21/301

FI (2)：

H01L33/00 L ,  H01L21/78 P

F-Term (4)：

5F041DC07 ,  5F041DC67 ,  5F041DC77 ,  5F041FF11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ダイシングテープ用光照射装置および光照射方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338311   Applicant：リンテック株式会社
• 紫外線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-214534   Applicant：リンテック株式会社

Cited by examiner (4)

• 発光ダイオードを硬化用に使用するための方法および装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2005-505625   Applicant：ダームジョナサンエス.
• 画像表示装置および照明装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-141687   Applicant：東芝トランスポートエンジニアリング株式会社
• 紫外線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-214534   Applicant：リンテック株式会社
• 定着器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-247685   Applicant：富士写真フイルム株式会社