Pat
J-GLOBAL ID：200903039134358563

エアフィルタ装置

Inventor：
松尾 辰彦

About 松尾 辰彦

, 
塩地 純夫

About 塩地 純夫


Applicant, Patent owner：
ダイキン工業株式会社

About ダイキン工業株式会社


Agent (1)： 亀井 弘勝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998121202
Publication number (International publication number)：1999309325
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】半導体工業のクリーンルーム等で使用されるエアフィルタ装置10において、小型化を図り、かつ吹出気流の均一性を向上させる。【解決手段】フィルタ濾材として圧力損失の少ないPTFEを用い、PTFEの構成を所定の範囲に特定する。それにより、フィルタ12の圧力損失を低減し、圧力損失が低減した分だけ、フィルタ12に供給される気流が導入されるチャンバ17の容積を小さくする。また、チャンバ17内に堰21を設けて、チャンバ17内で気流の大きな対流渦が生じるのを防止する。
Claim (excerpt)：
送風装置(11)、フィルタ(12)および送風装置(11)の生じる気流をフィルタ(12)に導く風路(13)を有し、フィルタ(12)を通過した気流(A2)が被送風物へ吹き出すようにしたエアフィルタ装置であって、前記フィルタ(12)は、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜からなり、5.3cm/秒の流速で空気を通過させたときの圧力損失が2〜100mmH2 Oであり、0.10〜0.12μmのジオクチルフタレートを用いた捕集効率から下記式(1)により計算されるPF値が少なくとも8であるフィルタ濾材を含み、【数1】前記風路(13)のフィルタ(12)に臨む空間(17)は、フィルタ(12)に進入する気流の静圧を増すためのチャンバ(17)とされていることを特徴とするエアフィルタ装置。
IPC (6)：
B01D 46/54 ,  B01D 39/16 ,  B01D 71/36 ,  B32B 5/18 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02
FI (6)：
B01D 46/54 ,  B01D 39/16 C ,  B01D 71/36 ,  B32B 5/18 ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM