工程間搬送システムおよび工程間搬送方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：朝日奈宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001321092
Publication number (International publication number)：2003124286
Application date： Oct. 18, 2001
Publication date： Apr. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】前工程の保管棚や次工程の保管棚、台車などに半製品が滞留することがなく、必要な工程に効率よく半製品を搬送し供給することができる工程間搬送システムを提供する。【解決手段】プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有し、プロセス装置の稼動状況および保管棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有する工程間搬送システムであって、プロセス装置の稼動状況および保管棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定する工程間搬送システム。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 501 , B65G 49/07 , H01L 21/02

FI (4)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 501 C , B65G 49/07 C , H01L 21/02 Z

F-Term (16)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022EE05 , 3F022HH00 , 3F022LL12 , 3F022MM05 , 3F022MM07 , 3F022MM11 , 3F022MM51 , 3F022NN51 , 3F022NN55 , 5F031CA02 , 5F031DA17 , 5F031GA58 , 5F031NA02 , 5F031PA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

生産管理装置および生産管理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-186437 Applicant：セイコーエプソン株式会社
ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-035398 Applicant：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
工程間搬送装置の搬送順序の決定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-349726 Applicant：日立機電工業株式会社

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