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J-GLOBAL ID：200903039230955998

透光性物質の不均一性検査方法及びその検査装置

Inventor：
田辺 勝

About 田辺 勝


Applicant, Patent owner：
ホーヤ株式会社

About ホーヤ株式会社


Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998242046
Publication number (International publication number)：2000074848
Application date： Aug. 27, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 安価な低開口数の結像光学系を使用しても透光性物質の光学的な不均一性を高感度・高速度で確実に検出できる。【解決手段】 レーザー2からのレーザー光Lをミラー31、32を用いて透明基板1内にその導入面から導入する。透明基板1内に導入されたレーザー光Lは、透明基板1の表面(主表面及び端面)で全反射を繰り返し、基板1内にほぼ閉じ込められた状態となる。しかし、透明基板1表面に傷等の不均一部分があると、全反射条件が満足されずに、その不均一部分から光が漏れ出る。この漏れ出た全ての光を、すりガラス6で散乱し、すりガラス6からの散乱光を低開口数の結像レンズ5を介してCCD4に結像して検出する。
Claim (excerpt)：
鏡面仕上げされた表面を有する透光性物質の不均一性を検査する方法において、前記透光性物質の光路が光学的に均一の場合には、前記表面で全反射を繰り返して透光性物質内に閉じ込められるようにレーザー光を導入し、前記表面から全反射することなく漏出した光を散乱させた後、低開口数の結像光学系を介して前記散乱光を検出することで、透光性物質の不均一性を検査するようにしたことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。
F-Term (11)：
2G051AA56 ,  2G051AA71 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051CC17 ,  2G051CC20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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