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J-GLOBAL ID：200903039470710747
電気波形測定探針
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井出 直孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996021406
Publication number (International publication number)：1997211081
Application date： Feb. 07, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】 STMあるいはSFMを利用した電気波形測定の測定精度を高める。【解決手段】 被測定物に近接させる先の尖った端子(21)と、この端子(21)と被測定物との間の電流をサンプリングするために光照射により導通状態となる光導電性スイッチと、これらを保持するカンチレバー(23)とにより探針を構成し、光導電性スイッチの受光部(22)の周囲に、不要なキャリアが光励起されることを防止するための光反射膜または光吸収膜(27)を設ける。
Claim (excerpt)：
被測定物に近接させる先の尖った端子と、この端子と被測定物との間の電流をサンプリングするために光照射により導通状態となる光導電性スイッチと、前記端子および前記光導電性スイッチを支持するカンチレバーとを備えた電気波形測定探針において、前記光導電性スイッチの受光部は前記カンチレバーの前記端子が設けられた側とは反対側の面に形成され、この受光部の周囲に、不要なキャリアが光励起されることを防止するための光反射膜または光吸収膜が設けられたことを特徴とする電気波形測定探針。
IPC (4)：
G01R 31/302
, G01N 37/00
, G01R 1/06
, G01R 19/00
G01R 31/28 L
, G01N 37/00 B
, G01N 37/00 F
, G01R 1/06 F
, G01R 19/00 V
