硬化ナノインプリントスタンプ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：古谷聡 , 溝部孝彦 , 西山清春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003364008
Publication number (International publication number)：2004148494
Application date： Oct. 24, 2003
Publication date： May. 27, 2004
Summary：

【課題】磨耗や破損に強いナノインプリントスタンプを提供すること。【解決手段】硬化ナノインプリントスタンプ10及び該硬化ナノインプリントスタンプ10の形成方法を開示する。硬化ナノインプリントスタンプ10は複数のシリコン製の極小形状部12を有し、この極小形状部12が炭化ケイ素、窒化ケイ素または炭化窒化ケイ素からなる硬化外殻20を有する。硬化外殻20は、プラズマ浸炭処理および/またはプラズマ窒化処理によって、基礎部分のシリコンよりも硬化される。プラズマ処理中は炭素原子C及び/又は窒素原子Nが極小形状部12の複数の露出面に衝突してそれらが露出面から浸透し、シリコン(Si)と反応して炭化ケイ素、窒化ケイ素または炭化窒化ケイ素からなる硬化外殻20が形成される。その結果、硬化ナノインプリントスタンプ10の寿命、耐久性、及び経済性が向上する。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

基準面(13)を有する基板(11)と、前記基板(11)に接続され、前記基準面(13)から外側へ延びる複数の極小形状部(12)であって、該極小形状部(12)が転写形状を画定する外面を有し、該極小形状部(12)がシリコンおよびポリシリコンからなるグループの中から選択された材料から形成される、複数の極小形状部(12)と、前記外面の内側へ所定の深さdだけ延び、炭化ケイ素、窒化ケイ素および炭化窒化ケイ素からなるグループの中から選択された材料から形成された、外殻(20)と、からなる硬化ナノインプリントスタンプ(10)であって、前記硬化外殻(20)は、前記ナノインプリントスタンプ(10)を転写先の媒体(53)と繰り返し係合させる間、前記極小形状部(12)の転写形状を維持する働きをもつ、硬化ナノインプリントスタンプ(10)。

IPC (2)：

B82B3/00 , H01L21/027

FI (2)：

B82B3/00 , H01L21/30 502D

F-Term (1)：

5F046AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭63-255849
特開昭62-213252
回転体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-393433 Applicant：ティーディーケイ株式会社

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