カーボンナノチューブの作製装置および作製方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005008259
Publication number (International publication number)：2006111517
Application date： Jan. 14, 2005
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：

【課題】カーボンナノチューブ(CNT)を形成する基板としてガラス製の基板を用いることができ、煤などの不純物が混在せず、広い面積にわたって高い配向性を有するCNTを形成することができるCNTの作製装置および作製方法を提供する。【解決手段】本発明では、CNTを反応チャンバー2内で基板S上に形成させるCNTの作製装置1において、前記基板Sを保持する保持手段53と、この保持手段53に保持された前記基板Sに対面して設けたフィルタ6と、このフィルタ6を介して前記基板Sに対向して設けた励起手段52と、この励起手段52により高周波電力を印加して励起させる炭化水素ガスCGを前記反応チャンバー2内に供給する炭化水素ガス供給手段51と、を備え、前記フィルタ6は、前記CNTの形成に適する励起された炭化水素ガスCGを透過させることが可能であるカーボンナノチューブの作製装置1とした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

カーボンナノチューブを反応チャンバー内で基板上に形成させるカーボンナノチューブの作製装置において、前記基板を保持する保持手段と、この保持手段に保持された前記基板に対面して設けたフィルタと、このフィルタを介して前記基板に対向して設けた励起手段と、この励起手段により高周波電力を印加して励起させる炭化水素ガスを前記反応チャンバー内に供給する炭化水素ガス供給手段と、を備え、前記フィルタは、炭化水素ガスを透過させることを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。

IPC (1)：

C01B 31/02

FI (1)：

C01B31/02 101F

F-Term (19)：

4G146AA11 , 4G146AC03B , 4G146BA12 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC25 , 4G146BC26 , 4G146BC27 , 4G146BC33A , 4G146BC33B , 4G146BC37B , 4G146BC38B , 4G146BC42 , 4G146BC44 , 4G146DA03 , 4G146DA33 , 4G146DA47

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

微細炭素繊維の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-279540 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 昭和電工株式会社
炭素系超微細冷陰極及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-301259 Applicant：日本真空技術株式会社
カーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-259692 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 東京瓦斯株式会社

Cited by examiner (1)

プラスチック製コンクリートスペーサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-331263 Applicant：三甲株式会社

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