光励起電子線源および電子線応用装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999326435
Publication number (International publication number)：2001143648
Application date： Nov. 17, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】光励起電子源において、対物レンズを真空中に入れることにより光の焦点サイズや振動などの問題を解決し、高性能の電子ビームを得る。【解決手段】対物レンズを真空中に入れホトカソード近傍におくことで、ホトカソードへの収束光を十分小さく絞り、かつ振動やドリフトの問題のない高性能の電子源を得る。

Claim (excerpt)：

真空中にあって光入射により電子を放出する手段であるホトカソードと、入射する励起光の光源装置と、発生する電子を引き出す引出し電極よりなる光励起電子線源において、光源とホトカソードの間には少なくとも1枚の光学レンズもしくは鏡で構成される前記励起光の収束手段もしくは結像手段があり、同手段を構成する前記レンズもしくは鏡のうちの少なくとも一つが前記ホトカソードと同一の真空層中にあることを特徴とする光励起電子線源。

IPC (4)：

H01J 37/073 , H01J 1/34 , H01J 37/06 , H01S 5/02

FI (4)：

H01J 37/073 , H01J 1/34 C , H01J 37/06 A , H01S 5/02

F-Term (14)：

5C030BB02 , 5C030BC06 , 5C030CC01 , 5C030CC02 , 5C030CC07 , 5C035CC01 , 5C035CC04 , 5C035CC07 , 5F073AB21 , 5F073AB25 , 5F073AB27 , 5F073AB28 , 5F073AB29 , 5F073BA09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-213037
特開平3-176953
光電子発生方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-025898 Applicant：住友重機械工業株式会社

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