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J-GLOBAL ID:200903039891322886

分光学的断面画像測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 清水 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000084639
Publication number (International publication number):2001272335
Application date: Mar. 24, 2000
Publication date: Oct. 05, 2001
Summary:
【要約】【課題】 断層構造情報とその画像でのスペクトル情報を得ることができ、精確で信頼性の高い分光学的断面画像測定装置を提供する。【解決手段】 分光学的断面画像測定装置において、広帯域波長光源1と、照射光学系(2,3,4)と、空間遅延型フィゾー干渉計(5,6,7,8,9,10,11,13,14)と、マルチチャンネル分光器12と、画像データ処理用コンピュータ15とを備え、前記空間遅延型フィゾー干渉計(5,6,7,8,9,10,11,13,14)からの断層画像を測定するとともに、前記マルチチャンネル分光器12からの散乱光の波長スペクトルも同時に測定する。
Claim (excerpt):
(a)広帯域波長光源と、(b)照射光学系と、(c)空間遅延型フィゾー干渉計と、(d)高速分光器と、(e)画像データ処理用コンピュータとを備え、(f)前記空間遅延型フィゾー干渉計からの断層画像を測定するとともに、前記高速分光器からの散乱光の波長スペクトルも同時に測定することを特徴とする分光学的断面画像測定装置。
IPC (6):
G01N 21/17 630 ,  G01N 21/17 625 ,  A61B 10/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/01
FI (7):
G01N 21/17 630 ,  G01N 21/17 625 ,  A61B 10/00 E ,  G01B 9/02 ,  G01N 21/01 D ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 A
F-Term (49):
2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF00 ,  2F064GG00 ,  2F064GG02 ,  2F064GG22 ,  2F064GG49 ,  2F064GG51 ,  2F064GG57 ,  2F064GG70 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065FF46 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065GG12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065LL67 ,  2F065MM26 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM20

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