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J-GLOBAL ID：200903040148095466

干渉計装置及び収差計測方法

Inventor：
小林 雅也

About 小林 雅也

, 
野崎 昭俊

About 野崎 昭俊

, 
新 勇一

About 新 勇一


Applicant, Patent owner：
コニカミノルタホールディングス株式会社

About コニカミノルタホールディングス株式会社


Agent (3)： 福田 充広 ,  大石 治仁 ,  藤本 芳洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003048719
Publication number (International publication number)：2004257854
Application date： Feb. 26, 2003
Publication date： Sep. 16, 2004
Summary：
【課題】レンズの非点収差から複屈折に起因する成分を簡易に抽出して定量的に評価することができる干渉計装置を提供すること。【解決手段】この干渉計装置のうち、波長板駆動装置22及びステージ駆動装置23は、コンピュータ27の一部機能とともに、被検レンズMLやこれに入射する直線偏光光の偏光方向を回転させる相対方位調節手段を構成する。また、コンピュータ27の一部演算機能は、一対の非点収差成分を抽出するための波面演算手段を構成する。例えば、被検レンズMLの回転前後において計測した一対の非点収差ベクトルの演算によって、面変形依存性の非点収差成分と偏光方位依存性の非点収差成分とを分離抽出するので、非点収差の内容を定量的に評価することができ、被検レンズMLの収差評価の質を向上させることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
所定方向の直線偏光光である被検光が被検対象を通過又は反射される際の波面収差を干渉を利用して検出する干渉計本体と、 光軸の回りにおける前記被検対象の回転位置と、前記被検光の偏光方向との相対的な位置関係を調節する相対方位調節手段と、 前記相対方位調節手段による位置関係の調節前後における波面収差を比較することによって、前記被検対象の回転位置に依存する第1非点収差成分と前記被検光の偏光方向に依存する第2非点収差成分との少なくとも一方を抽出する波面演算手段と を備える干渉計装置。
IPC (2)：
G01M11/02 ,  G01B9/02
FI (2)：
G01M11/02 B ,  G01B9/02
F-Term (12)：
2F064AA00 ,  2F064AA15 ,  2F064EE02 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG39 ,  2F064GG70 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064KK01 ,  2G086HH06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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