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J-GLOBAL ID：200903040169326212

3点支持装置および3次元形状計測装置

Inventor：
松本 英雄

About 松本 英雄


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004259203
Publication number (International publication number)：2006078187
Application date： Sep. 07, 2004
Publication date： Mar. 23, 2006
Summary：
【課題】高剛性で安定性のよい固定体接触支持と、低剛性で自由度の高いキネマティックマウント等を切り替え自在な3点支持装置を実現する。【解決手段】被支持物体1を支持ベース2上に3点支持する3つの脚部3は、それぞれ、固定支柱12を被支持物体1の下面から突出する脚11に接触させて3点支持する高剛性の支持形態と、板バネを含む弾性支持手段14によって支持されたスラストベアリング15を脚11と一体であるフランジ13に接触させて、X、Y、ωX、ωY方向の4自由度をもつ低剛性で支持する支持形態とを有し、2つの支持形態をリフト機構であるベローズシリンダ16によって切り替える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
支持ベースとの間に3つの脚部を介して被支持物体を支持する3点支持装置であって、少なくとも1つの脚部が、少なくともX、Y、Z方向の自由度を拘束する固定体による第1の支持機構と、X、Y、ωX、ωY方向の4自由度のうちの少なくとも1つを有する可動体による第2の支持機構と、前記第1および前記第2の支持機構を交互に不作動にするための切り替え手段とを備えていることを特徴とする3点支持装置。
IPC (3)：
G01B 21/00 ,  G01B 21/20 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G01B21/00 L ,  G01B21/20 C ,  H01L21/30 503A
F-Term (11)：
2F069AA66 ,  2F069GG02 ,  2F069GG07 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM02 ,  2F069MM23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (4)
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