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J-GLOBAL ID：200903040300452946
プラズマディスプレイパネルの製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004109815
Publication number (International publication number)：2004319473
Application date： Apr. 02, 2004
Publication date： Nov. 11, 2004
Summary：
【課題】プラズマディスプレイパネルの基板への成膜において、成膜室の状態を適正に制御することで、良好な膜を形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を実現する。【解決手段】前面基板3を基板保持具30に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、成膜に際し、基板保持具30は繰り返し使用し、成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている基板保持具30と、付着した膜を除去した状態とした基板保持具30とを、成膜室である蒸着室21内に混在させて行い、蒸着室21内の、真空度などの状態の変化を小さくする。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
基板を基板保持具に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
成膜に際し、基板保持具は繰り返し使用し、前記成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている基板保持具と、付着した膜を除去した状態とした基板保持具とを、成膜室内に混在させて行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (7)：
5C027AA07
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GE09
, 5C040JA07
Cited by examiner (7)
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