プラズマエッチャーのエンドポイント検出装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994109682
Publication number (International publication number)：1995321094
Application date： May. 24, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、プラズマ発光領域の平面方向又は光軸方向の同一位置からの光束を受光してエンドポイント検出精度の改善を図ることを目的とする。【構成】チャンバ内で発生したプラズマ光を入射スリット41上に集束させると共に、該スリット41を通過した光を分光部材43で分光することによりエッチングによるガスのプラズマ発光スペクトルを取り出してエッチング終了時間を制御するプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置であり、入射スリット41と分光部材43との間に光分岐部材42を配置して、入射スリット41通過後の光束を第1,第2の光電変換素子45,47に結像させるように構成したことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

プラズマエッチャーのチャンバ内で発生したプラズマ光を集光レンズで入射スリット上に集束させ、該入射スリットを通過した光を分光部材で分光することによりエッチングによる化学反応で発生したガスのプラズマ発光スペクトルを取り出し、その強度変化に基づいてエッチング終了時間を制御するプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置において、前記入射スリットの後方に配置され、該入射スリットを通過したプラズマ光を少なくとも二方向に分岐する光分岐部材と、前記光分岐部材で分岐された一方向の光路中に配置される分光部材と、前記分光部材を介して特定波長に選択されたプラズマ光が集光される位置に配置されプラズマ発光スペクトルの強度に応じた信号を出力する第1の光電変換素子と、前記光分岐部材で前記一方以外へ分岐されたプラズマ光を集光する手段と、前記集光手段によりプラズマ光が集光される位置に配置されプラズマ光の強度に応じた信号を出力する第2の光電変換素子と、前記第1及び第2の光電変換素子の出力信号に基づいてエッチング終了時間を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭56-133466
プラズマエツチヤーのエンドポイント検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-225561 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-196529

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