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J-GLOBAL ID：200903040641962594

プレーナ型アクチュエータ

Inventor： 上田 譲
Applicant, Patent owner： 日本信号株式会社
Agent (1)： 笹島 富二雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002365672
Publication number (International publication number)：2004198648
Application date： Dec. 17, 2002
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：

【課題】外側可動板と内側可動板の共振周波数比を大きくでき、光の偏向走査等に利用する場合にラスタ走査を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。【解決手段】外側可動板3を外側固定部1に外側トーションバー2で回動可能に軸支して備えた外側可動部17と、内側可動板5を内側固定部20に内側トーションバー4で回動可能に軸支して備えた内側可動部16と、前記各可動板3,5を駆動する駆動手段とを備え、外側可動部17と内側可動部16とを剛性の異なる材料で形成すると共に、外側トーションバー2の軸方向と内側トーションバー4の軸方向とが直交するように内側可動部16を外側可動部17の外側可動板3に固定して構成した。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

外側可動板を外側固定部に外側トーションバーで回動可能に軸支して備えた外側可動部と、 内側可動板を内側固定部に内側トーションバーで回動可能に軸支して備えた内側可動部と、 前記各可動板を駆動する駆動手段と を備え、前記外側可動部と内側可動部とを剛性の異なる材料で形成すると共に、前記外側トーションバーの軸方向と前記内側トーションバーの軸方向とが直交するように前記内側可動部を前記外側可動部の外側可動板に固定して構成したことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。

IPC (3)：

G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  H02K33/18

FI (4)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  B81B3/00 ,  H02K33/18 C

F-Term (18)：

2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045BA12 ,  5H633BB09 ,  5H633BB15 ,  5H633BB16 ,  5H633GG03 ,  5H633GG08 ,  5H633GG30 ,  5H633HH02 ,  5H633HH06 ,  5H633HH13 ,  5H633JA02 ,  5H633JA07 ,  5H633JB07 ,  5H633JB09