アクチュエータ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001115643
Publication number (International publication number)：2002307396
Application date： Apr. 13, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】共振周波数が大きく異なる第一のトーションバーと第二のトーションバーとを有している二次元駆動アクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ100は、可動板102と、これを取り囲む可動内枠104と、可動板102と可動内枠104を連結する第一のトーションバー112・114と、可動内枠104を取り囲む固定外枠106と、可動内枠104と固定外枠106を連結する第二のトーションバー116・118とを有する板バネ構造体を備えている。第一のトーションバー112・114と第二のトーションバー116・118は異なる材料で構成されている。アクチュエータ100は、可動内枠104を周回する駆動コイル122と、第一の軸に平行な静磁界を与える一対の第一の永久磁石132・134と、第一の軸に平行な一対の第二の永久磁石136・138とを更に有している。

Claim (excerpt)：

可動板と、可動板を取り囲んでいる可動内枠と、可動板が可動内枠に対して揺動し得るように可動板と可動内枠を連結している第一のトーションバーと、可動内枠を取り囲んでいる固定外枠と、可動内枠が固定外枠に対して揺動し得るように可動内枠と固定外枠を連結している第二のトーションバーとを有する板バネ構造体を備えており、板バネ構造体は一枚の半導体基板から作製され、第一のトーションバーと第二のトーションバーは異なる材料で構成されている、アクチュエータ。

IPC (6)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , G02B 26/08 , G02B 26/10 , G02B 26/10 104 , H04N 1/113

FI (6)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , G02B 26/08 E , G02B 26/10 C , G02B 26/10 104 Z , H04N 1/04 104 Z

F-Term (15)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC05 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB23 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 5C072AA01 , 5C072BA01 , 5C072CA06 , 5C072DA21 , 5C072HA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

インクジェットヘッドおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-264121 Applicant：シャープ株式会社
光スキャナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-261270 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
プレーナー型ガルバノミラー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-062463 Applicant：ミヨタ株式会社

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