機能性超薄膜およびその形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003190325
Publication number (International publication number)：2005023199
Application date： Jul. 02, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：

【課題】本発明は、分子線エピタキシー法のような大掛かりな装置を用いずに、温和な条件でかつ複雑な形状にも対応可能なラングミュア・ブロジェット法を用い、構造が安定でかつ均一なナノメータスケールの超薄膜を比較的容易に提供することを目的とする。【解決手段】式(1)および式(2)のそれぞれで示される化合物の群から選択される少なくとも1つを用いて得られる単分子膜またはその累積膜よりなる機能性有機超薄膜。式(1)及び式(2)において、R1は水素、アルキル、アリールまたはアラルキルである;Y1の少なくとも1つは式(3)で示される基であり、残りは水素である。式(3)において、R2は式(1)におけるR1と同様に定義される基であり、Zは官能基を有する基である。【選択図】なし。

Claim (excerpt)：

式(1)および式(2)のそれぞれで示される化合物の群から選択される少なくとも1つを用いて得られる単分子膜またはその累積膜よりなる機能性有機超薄膜。

IPC (3)：

C09D183/04 , B32B9/00 , C07F7/21

FI (3)：

C09D183/04 , B32B9/00 Z , C07F7/21

F-Term (50)：

4F100AB01B , 4F100AB01C , 4F100AK80A , 4F100BA03 , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100BA16A , 4F100EH90A , 4F100EH902 , 4F100EJ42A , 4F100EJ422 , 4F100EJ54A , 4F100EJ542 , 4F100GB41 , 4F100JG04A , 4F100JN17 , 4G075AA25 , 4G075BA05 , 4G075BA06 , 4G075CA33 , 4G075DA18 , 4G075EB32 , 4G075FB04 , 4G075FC15 , 4H049VN01 , 4H049VP08 , 4H049VP10 , 4H049VP11 , 4H049VQ25 , 4H049VQ87 , 4H049VQ88 , 4H049VR21 , 4H049VR23 , 4H049VR41 , 4H049VR43 , 4H049VU20 , 4J038DL031 , 4J038DL041 , 4J038DL071 , 4J038DL081 , 4J038DL101 , 4J038GA01 , 4J038GA06 , 4J038GA09 , 4J038GA10 , 4J038GA12 , 4J038GA13 , 4J038HA441 , 4J038NA21 , 4J038PB09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

酸化膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-260651 Applicant：学校法人東海大学
半導体装置、相補型半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-077055 Applicant：富士通株式会社
特公平7-030185

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

International SAMPE Symposium and Exhibition,47, page.1508-1516.(ABSTRACT, RN, CN, ) CAS ONLINE, AN=
POLYMER PREPRINTS,, Vol.42, No.1,(2001), Page.94
J. AM. CHEM. SOC.,, Vol.124, No.51,(2002), Page.15194-15195

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