カーボンナノチューブの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上野登
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004079379
Publication number (International publication number)：2005263564
Application date： Mar. 19, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【課題】基板表面に対してほぼ垂直に配向しており、かつ、CNTの直径、層数及び数密度を制御することが可能なカーボンナノチューブの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブの製造方法は、2次元規則配列した開口部を有し、かつ該開口部に合成用触媒又はその前駆体を担持させた基体を調製する基体調製工程と、前記基体表面に炭素含有化合物ガスを供給し、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させる熱分解工程とを備えていることを要旨とする。この場合、前記熱分解工程は、前記基体又は前記基体を保持する基体保持体に、相対的に負のバイアス電圧を印加した状態で、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させるものが好ましい。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

2次元規則配列した開口部を有し、かつ該開口部に合成用触媒又はその前駆体を担持させた基体を調製する基体調製工程と、前記基体表面に炭素含有化合物ガスを供給し、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させる熱分解工程とを備えたカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (1)：

C01B31/02

FI (1)：

C01B31/02 101F

F-Term (19)：

4G146AA11 , 4G146AC22B , 4G146AD23 , 4G146AD24 , 4G146AD29 , 4G146BA11 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC03 , 4G146BC09 , 4G146BC16 , 4G146BC18 , 4G146BC25 , 4G146BC27 , 4G146BC37B , 4G146BC38B , 4G146BC44 , 4G146BC47

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許第3441923号公報の段落番号「0096」〜「0099」
特許第3183845号公報
カーボンナノチューブの自己配向性束及びその製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-583057 Applicant：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ

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