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J-GLOBAL ID：200903041047218865

サーモパイルアレイ温度検出器

Inventor： 平尾 敏則 ,  田中 基樹 ,  木村 親吾
Applicant, Patent owner： 日本セラミック株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006113721
Publication number (International publication number)：2007285892
Application date： Apr. 17, 2006
Publication date： Nov. 01, 2007
Summary：

【課題】対象分割領域の赤外線量検出を行うインライン型サーモパイルアレイチップを搭載したサーモパイルアレイセンサは、赤外線受光部となる微少面積の吸収膜と前記吸収膜上温接点とメンブラン周囲ヒートシンク上冷接点とを二種の物質で構成された熱電対により一定方向側に規定本数配列される為、前記吸収膜の赤外線検出量に伴う熱変換起電圧が微少であり、検出域の赤外線変化に追従する測定性能並びに微量な赤外線量検出精度が乏しいという欠点を有していた。【解決手段】複数個の赤外線受光部を有する千鳥上2行配列されたサーモパイルアレイチップを形成し、四方向に熱電対本数を増設し赤外線検出時起電圧を増加させサーモパイル赤外線検出器として測定性能を向上させる構成を行う。また対象面に対して前記サーモパイルアレイ温度検出器を一軸方向へ走査駆動させる事により、測定対象全面の不感帯域を無くし赤外線検出精度の優れた温度計測機器を構築する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対象面の一軸方向領域を分割し各分割域の放射赤外線量をレンズを介して検出するサーモパイルアレイセンサにおいて、メンブレン上の吸収膜部に温接点を形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成して、二種の物質で構成された熱電対で配列接合した複数個の赤外線検出域を、千鳥上に2行配列する事により熱電対数、温接点部、冷接点部の配置数を増加し、赤外線受光部となる各吸収膜からの赤外線検出時起電圧を増加させる事を特徴とするサーモパイルアレイ温度検出器。

IPC (3)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/08 ,  G01J 5/16

FI (5)：

G01J1/02 Q ,  G01J1/02 C ,  G01J1/02 H ,  G01J5/08 Z ,  G01J5/16

F-Term (19)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA33 ,  2G065BA34 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BB06 ,  2G065BB49 ,  2G065BC12 ,  2G065DA01 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA12 ,  2G066BA13 ,  2G066BA22 ,  2G066BA26 ,  2G066CA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 多素子型サーモパイルモジュール
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-242559   Applicant：日本セラミック株式会社
• サーモパイル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-345060   Applicant：日本セラミック株式会社

Cited by examiner (3)

• 赤外線ラインセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-002328   Applicant：日産自動車株式会社
• 赤外線検出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-268179   Applicant：日産自動車株式会社
• 赤外線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-287335   Applicant：株式会社村田製作所