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J-GLOBAL ID：200903041182794795

透明積層体の検査装置

Inventor： 西村 利雄 ,  清水 誠 ,  石井 明
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 吉田 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999265122
Publication number (International publication number)：2001091475
Application date： Sep. 20, 1999
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 透明積層体を構成する複数の透明体のいずれの層間に異物が存在するかを知ることができる透明積層体の検査装置を提供する。【解決手段】 LCD1を、その一方の主面から他方の主面に向けて、透明板1a,1b,1cの積層方向に対して斜めに透過するレーザ光3aを放射するレーザ装置と、LCD1を、その一方の主面側から撮像する撮像装置と、レーザ装置および撮像装置とLCD1とを相対的に移動させることにより、レーザ光3aによるLCD1の透過位置を順次変化させる移送装置と、撮像装置により得られた画像データに基づいて、透明板1a,1b,1cのうちの任意の透明体表面の画像データを分離集積することにより、その透明体表面の画像を生成可能にする画像データ処理手段とを備えた。

Claim (excerpt)：

シート状の透明体が積層された透明積層体を撮像し、撮像により得られた画像に基づいて透明積層体を検査するための検査装置であって、前記透明積層体を、その一方の主面から他方の主面に向けて、前記透明体の積層方向に対して斜めに透過するレーザ光を放射するレーザ装置と、前記透明積層体を、その一方の主面側から撮像する撮像装置と、前記レーザ装置および前記撮像装置と前記透明積層体とを相対的に移動させることにより、前記レーザ光による前記透明積層体の透過位置を順次変化させる移送装置と、前記撮像装置により得られた画像データに基づいて、前記透明体のうちの任意の透明体表面の画像データを分離集積することにより、その透明体表面の画像を生成可能にする画像データ処理手段とを備えたことを特徴とする、透明積層体の検査装置。

F-Term (10)：

2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA02 ,  2G051BB09 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051DA17 ,  2G051EA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ガラス基板の表裏欠陥識別方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-087050   Applicant：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開平2-170008
  
• 欠陥評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-266466   Applicant：三井金属鉱業株式会社
• 特開平4-001507