シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997153299
Publication number (International publication number)：1999002611
Application date： Jun. 11, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】シート状部材に生じる欠陥の種類を識別して、欠陥の種類に応じてシートをグレード分けして製造するシート部材の製造方法の提供。【解決手段】シート状物質を斜方照明あるいは透過照明して、照明されたそれぞれの表面を光学的に検出して、検出した画像を平滑化,2次微分,2値化する画像処理による欠陥候補の検出と、検出された欠陥候補の画像から、面積S,周囲長Lにもとずき、細長い欠陥と円形状の欠陥に識別し、斜方照明で検出された画像からは、面積Sの大きい欠陥はすじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断し、円形状欠陥はへこみ欠陥として識別し、透過照明検出された画像からは、基材より明るく検出される細長い欠陥はひび割れ欠陥、円形状欠陥はブローホール欠陥、また、基材より暗く検出される円形状欠陥は異物欠陥,空隙欠陥として識別して、欠陥を判定し、該判定結果に基づいて、良品部分を選択的して裁断し、分別してグレード分けして製造する。

Claim (excerpt)：

シート状部材の製造方法において、シートの光学画像を検出し、該光学画像から、シート表面やシート内部に生じる欠陥候補を検出し、該検出された欠陥候補の形状の特徴から欠陥の種類を特定し、該それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変して検査し、検査結果に基づいて、シートをグレード分けして製造することを特徴とするシート状部材の製造方法。

IPC (2)：

G01N 21/89 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N 21/89 A , G01B 11/30 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-216904
グリーンシートの製造方法及びその装置並びにグリーンシートの欠陥検出方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-150126 Applicant：株式会社日立製作所
特開昭63-298036

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