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J-GLOBAL ID：200903041343760632

ポリシング工具の修正用工具

Inventor： 山本 隆司 ,  伊達 貞夫 ,  福島 健二
Applicant, Patent owner： 大阪ダイヤモンド工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999229395
Publication number (International publication number)：2001018172
Application date： Jul. 08, 1999
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】アルミハードディスク、ガラスハードディスク及びシリコンウエハ等、電子・光学部品を高品位、超精密にポリシングする工具、例えば、ポリシングパッド、不織布等の修正に要する時間を短縮し、被加工物のポリシングレイトの安定化と高品位な仕上げ面を得る。【解決手段】円盤状の台金の片側面又は両側面に、電着法により超砥粒を保持させた修正要工具とする。台金は、被加工物と同一又はそれに近似する形状が好ましく、超砥粒層の面積は台金側面の面積に対して10%〜100%とする。

Claim (excerpt)：

アルミハードディスク、ガラスハードディスク、及びシリコンウエハのポリシングに用いられる各種ポリシング工具の修正用工具であって、円盤状の台金の片側面又は両側面に、電着法により超砥粒を保持させたことを特徴とするポリシング工具の修正用工具。

F-Term (2)：

3C047AA34 ,  3C047EE02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• ポリッシング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-281477   Applicant：株式会社荏原製作所
• 研磨布ドレッシング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-128676   Applicant：株式会社東芝
• パッドコンディショナー及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-127330   Applicant：日本電信電話株式会社
• 研磨クロスのドレッシング及びブラッシング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-155795   Applicant：住友シチックス株式会社
• 研削加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-148424   Applicant：古河電気工業株式会社