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J-GLOBAL ID：200903041527741541

硬質皮膜

Inventor：
久保田 和幸

About 久保田 和幸


Applicant, Patent owner：
日立ツール株式会社

About 日立ツール株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005127575
Publication number (International publication number)：2006307242
Application date： Apr. 26, 2005
Publication date： Nov. 09, 2006
Summary：
【課題】高硬度、耐高温酸化性の優れる硬質皮膜においても密着性を犠牲にすること無く、特に靭性を改善することである。併せて高温状態での耐溶着性、潤滑特性も改善し、例えば切削加工などにおける乾式化、高速化、高送り化に対応可能な硬質皮膜を提供することである。【解決手段】物理蒸着法により基体表面に形成された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みT(nm)が0.1≦T≦100、であることを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
物理蒸着法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みT(nm)が0.1≦T≦100、であることを特徴とする硬質皮膜。
IPC (2)：
C23C 14/06 ,  C23C 26/00
FI (2)：
C23C14/06 P ,  C23C26/00 B
F-Term (22)：
4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA43 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029CA08 ,  4K029DC39 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01 ,  4K044AA02 ,  4K044AA09 ,  4K044AB10 ,  4K044BA02 ,  4K044BA10 ,  4K044BA19 ,  4K044BC06 ,  4K044CA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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