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J-GLOBAL ID：200903041575661398

Z軸角速度センサー

Inventor： エリック・ピー・チョジナッキ ,  ジューン・ピー・シェン-エプスタイン ,  ネナド・ネナディック ,  ネイサン・エル・スターリング ,  ワシーレ・ニストル
Applicant, Patent owner： キオニックス インコーポレイテッド
Agent (2)： 石野 正弘 ,  稲葉 和久
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006528081
Publication number (International publication number)：2007519891
Application date： Sep. 20, 2004
Publication date： Jul. 19, 2007
Summary：

振動する回転センサは、「z軸」周りの回転を感知するために記述される。それは、構造的結合、及び2つのプルーフ・マスの基本的な反位相振動が機械的結合により実現されるような力学を有するチューニングフォークである。

Claim (excerpt)：

直交するx、y、z軸を有し、z軸周りの回転速度を検出するためのセンサであって、 基板と、 上記x軸に関し対称で、複数の内部及び外部のアンカーポイントにより上記基板から懸架される全体質量と、を備え、 上記全体質量は、 上記x軸及び上記y軸に関して対称な、少なくとも2つのプルーフ・マスと、 各プルーフ・マスを囲み、かつ湾曲部によってそのプルーフ・マス及び外部のアンカーポイントに取り付けられる、駆動されるフレームと、 上記x軸に沿って振動する各駆動されるフレームのための一対の駆動バンク及び第1の感知バンク対と、 上記y軸に沿ったコリオリ運動を検出するための、各プルーフ・マスに取り付けられる第2の感知バンク対と、 それぞれ内部のアンカーポイントに中央で装着され、静止してy方向に配向され、及び上記z軸に直交するxy平面におけるアンカーポイントの周りに回転可能である、少なくとも2つの回転する硬いビームと、 上記y軸に関して対称で、上記回転する硬いビームを上記フレームに接続し、及び複数の非回転の硬いビームと複数の湾曲部とを備え、コリオリにより引き起こされる、プルーフ・マスの上記y軸に沿った反位相運動に帰着するように、反位相運動のみにおいて上記x軸に沿って支配的にフレーム運動を可能にする、複数の内部フレーム支持部と、 を備えるセンサ。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

F-Term (14)：

2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA02 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 米国特許2309853
  

Cited by examiner (4)

• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-092875   Applicant：アイシン精機株式会社
• 共振型角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-334337   Applicant：株式会社豊田中央研究所
• 振動型角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-334336   Applicant：株式会社豊田中央研究所
• 回転角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-207355   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング