磁気浮上型ステージ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995166343
Publication number (International publication number)：1997017847
Application date： Jun. 30, 1995
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【目的】可動ステージの高速駆動および高精度な位置決めを可能とするとともに、クリーン度を低下させず、真空中でも使用可能な磁気浮上型ステージを提供する。【構成】移動ステージ4および固定ステージ1のいずれか一に設けた第1の磁石群5a、5b、5c、5d、5e、5fと他に設けた第1の電磁石群2a、2b、2c、2d、2e、2fとの間の反発力あるいは吸引力により移動ステージ4のZ方向の移動量、およびα方向、β方向の回転量を制御し、一に設けた第2の磁石群5b、5c、5eと他に設けた第2の電磁石群2b、2c、2eとの間に作られた磁束中に流す横断電流I5、I6により移動ステージ4のX方向、Y方向の移動量およびθ方向の回転量を制御する。

Claim (excerpt)：

直交座標系の3軸をX、Y、Zとし、各軸回りの回転角をα、β、θで表すとき、固定ステージと、前記固定ステージに沿ってXY平面内の任意の位置に駆動される移動ステージとを有する磁気浮上型ステージにおいて、前記移動ステージおよび前記固定ステージのいずれか一方のステージに設けた第1の磁石群と他方のステージに設けた第1の電磁石群との間の反発力あるいは吸引力により前記移動ステージにZ方向の移動力、およびα方向、β方向の回転力を付与し、前記一方のステージに設けた第2の磁石群と前記他方のステージに設けた第2の電磁石群との間に作られた磁束中で前記他方のステージに設けた電線に流す横断電流により前記移動ステージにX方向、Y方向の移動力およびθ方向の回転力を付与することを特徴とする磁気浮上型ステージ。

IPC (5)：

H01L 21/68 , B23Q 1/25 , B65G 54/02 , G05D 3/00 , H01L 21/027

FI (5)：

H01L 21/68 K , B65G 54/02 , G05D 3/00 A , H01L 21/30 515 G , B23Q 1/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

精密1段6自由度ステージ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-218367 Applicant：松下電器産業株式会社
位置決め装置及び位置決め方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-243099 Applicant：旭硝子株式会社
移動案内装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-327179 Applicant：松下電器産業株式会社

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