Pat
J-GLOBAL ID：200903041606722722
電子放出素子、電子源及び画像形成装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
世良 和信 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001294940
Publication number (International publication number)：2003100199
Application date： Sep. 26, 2001
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：
【要約】【課題】 電子ビーム径が小さい電子放出素子を提案するものであり、そのような電子放出素子、電子源を利用して、画質の良好で高精細な画像形成装置を提供する。【解決手段】 カソード電極2は、その一部に掘り込まれて開口を有しており、また、その開口の掘り込み深さは、開口底面周縁部で深く、開口底面中央部で浅く形成される。電子放出材5の表面は、カソード電極2-絶縁層3の境界面より深部に形成される。
Claim (excerpt)：
基板上に積層されたカソード電極と絶縁層とゲート電極とを有し、そして前記絶縁層及びゲート電極を貫通する開口と、該開口内の前記カソード電極に電気的に接続された電子放出材とを有した電子放出素子であって、前記カソード電極と前記開口とで形成される開口底面は、該開口底面の周縁部が該開口底面の中央部よりも深く掘り込まれた形状であり、かつ前記開口内に配置された前記電子放出材の表面は、前記カソード電極と前記絶縁層の境界高さより低い位置に位置することを特徴とする電子放出素子。
IPC (3)：
H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
5C031DD17
, 5C036EE03
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG12
Cited by examiner (6)
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