物体の欠陥の検査方法および検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996354138
Publication number (International publication number)：1997236512
Application date： Dec. 18, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】簡便かつ迅速に、しかも、微妙な色調の異常などの欠陥を検出することができるとともに、安定した検査結果が達成される高感度の物体の欠陥の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】検査光を検査対象物体である物体に照射し、前記物体を透過した光もしくは反射した光により形成された像を観察することにより物体の欠陥を検査する方法であって、結像光学手段を用いることにより集光した前記透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光または直接光のいずれかを、前記結像光学手段の焦点面に設けた開口絞りにより遮蔽して得られる光により形成された像を観察して、微妙な物体の欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

検査光を検査対象である物体に照射し、前記物体を透過した光もしくは反射した光により形成された像を観察することにより物体の欠陥を検査する方法であって、結像光学手段を用いることにより集光した前記透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光を、前記結像光学手段の焦点面に設けた開口絞りにより遮蔽して得られる光により形成された像を観察することを特徴とする物体の欠陥の検査方法。

IPC (3)：

G01M 11/00 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (3)：

G01M 11/00 T , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

検査用光学系および検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-141118 Applicant：株式会社ニュークリエイション
表面状態検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-216398 Applicant：キヤノン株式会社
眼レンズを検査するためのレンズ検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-344808 Applicant：ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド

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