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J-GLOBAL ID：200903041766667558

成膜装置及び方法

Inventor：
工藤 利雄

About 工藤 利雄


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (1)： 井上 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999089758
Publication number (International publication number)：2000282227
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 10, 2000
Summary：
【要約】【課題】 成膜速度の微妙な調整が可能な成膜装置及び方法を提供すること。【解決手段】 ハース本体53では、容器本体53a及び蓋部53bによって、金属融液MLの上方に蒸気溜まりの空間VSが形成されている。つまり、ハース本体53が蒸発口53cによって開口を絞り込んだ形状のルツボとなっているため、ルツボ内すなわち空間VSの蒸気圧が高くなり、蒸気を構成する原子または分子がクラスター化し、クラスター粒子からなる蒸気ビームCBとして蒸発口53cから出射する。さらに、蒸気ビームCBは、基板に向かって進行する途中でプラズマビームを形成するプラズマ雰囲気中を通過するため、蒸気ビームCBを構成するクラスター粒子が活性化およびイオン化されて基板上に付着し、基板上の成膜が進行する。
Claim (excerpt)：
プラズマビームを成膜室中に供給するプラズマ源と、膜材料の蒸気溜まりを有する材料蒸発源を備えるとともに前記成膜室中に配置されて前記材料蒸発源に前記プラズマビームを導くハースと、を備える成膜装置。
IPC (2)：
C23C 14/32 ,  H01L 21/285
FI (2)：
C23C 14/32 G ,  H01L 21/285 B
F-Term (18)：
4K029DB12 ,  4K029DD05 ,  4M104BB04 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB32 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD36 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104HH20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • プラズマ処理装置の陽極構造
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-279289   Applicant：住友重機械工業株式会社
  • 特開平2-290965
  • 特開平3-064456
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