容量式加速度センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998243704
Publication number (International publication number)：2000074939
Application date： Aug. 28, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】容量式の加速度センサにおいて、検出感度を低下させることなく、オフセット電圧を除去する。【解決手段】可動電極2の一方側、他方側に、第1の固定電極3、4、第2の固定電極5、6が対向配置されており、信号発生回路7によって第1の固定電極3、4と第2の固定電極5、6に交互に搬送波信号が印加される。また、第1の固定電極3、4と可動電極2間および第2の固定電極5、6と可動電極2間のそれぞれの静電容量の差が、C-V変換回路8によって加速度に対応した電圧に変換され出力される。また、オフセット補正を行うためにオフセット補正回路11が設けられており、容量の異なる複数のコンデンサ11a〜11dの中から選択されたオフセット補正用コンデンサを、接続手段11eによって固定電極3、4と可動電極2間に接続するようにしている。

Claim (excerpt)：

加速度の作用に応じて変位する可動電極(2)と、前記可動電極の一方側に対向配置された第1の固定電極(3、4)と、前記可動電極の他方側に対向配置された第2の固定電極(5、6)と、前記第1の固定電極と前記可動電極の間の第1の静電容量と、前記第2の固定電極と前記可動電極の間の第2の静電容量の差を、加速度に対応した電圧に変換するC-V変換手段(8)と、前記第1の固定電極と前記可動電極の間および前記第2の固定電極と前記可動電極の間の少なくとも一方に、オフセット電圧をキャンセルし得る容量のオフセット補正用コンデンサを接続するようにしたことを特徴とする容量式加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 , G01P 21/00

FI (2)：

G01P 15/125 , G01P 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

加速度検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-295785 Applicant：株式会社村田製作所
力測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-269456 Applicant：セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
静電容量式加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-003915 Applicant：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社

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