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J-GLOBAL ID：200903042235866935

光変調装置及びその製造方法並びにその光変調装置を用いた電子機器

Inventor： 跡部 光朗 ,  小枝 周史 ,  四谷 真一
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995337877
Publication number (International publication number)：1997159937
Application date： Dec. 01, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高い歩留まりにて製造できる微小ミラーを備えた光変調装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 導電性のシリコン製ミラー基板100と、Naを含有するガラス製電極基板200とが、陽極接合されて光変調装置が構成される。シリコン製ミラー基板100は、マトリクス状に配設された微小ミラー102と、微小ミラー102をX方向にて連結するトーションバー104と、トーションバー104の両端が連結された枠状部106とを有する。ガラス製電極基板200は、中央領域の凹部202と、その周囲の立ち上げ部204と、凹部202内にて突出する支柱部210と、凹部202内に形成されて微小ミラーを傾斜駆動させる電極214,216及び配線218,220を有する。トーションバー104の両端及び枠状部106は立ち上げ部204と接合され、トーションバー104の中間部は支柱部210と接合される。トーションバー104の両端は、ダイシング時に枠状部106から切り離される。

Claim (excerpt)：

光変調装置の製造方法において、(a)一ライン状又はマトリクス状に配列された複数の微小ミラーと、前記微小ミラーを一方向にて連結するトーションバーと、を有し、少なくとも前記微小ミラーの片面に反射層が形成された、導電性のシリコン製ミラー基板を形成する工程と、(b)中央領域の凹部と、その周囲の立ち上げ部と、前記凹部内であって各々の前記微小ミラーと対応する位置に導電層が形成され、クーロン力により前記微小ミラーを傾斜駆動させる電極群と、前記一方向で隣合う2つの前記微小ミラー間と対応する位置にて前記凹部より突出形成された支柱部と、を有する電極基板を形成する工程と、(c)少なくとも前記シリコン製ミラー基板の前記トーションバーの中間部と前記電極基板の前記支柱部とを対面させて、前記シリコン製ミラー基板と前記電極基板とを接合する工程と、を有することを特徴とする光変調装置の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-287883   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 空間光変調器とその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-187098   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド