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J-GLOBAL ID:200903095888902151

光走査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993287883
Publication number (International publication number):1995141457
Application date: Nov. 17, 1993
Publication date: Jun. 02, 1995
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 消費電力を小さく、小型化を可能とする。【構成】 光走査装置20は、光反射基板1と、光走査基板10を接合してなり、光走査板10に設けられた走査部19の電極16a,16bに電圧を印加し静電気力を作用させることにより、光反射基板1の中心部に設けられ光を反射する光反射部2を傾かせる。同様の機構を直角方向に静電気力を作用させるように設けて光反射部2を傾斜させ、結果として、縦横の2軸方向に光走査ができるようにする。
Claim (excerpt):
光反射部と、この光反射部を揺動自在に支持する支持部とを有する光走査基板と、この光走査基板に対向して設けられ、光反射部を所望の方向に傾けて、光を走査するよう、前記光反射部に対して静電気力を作用させる駆動基板とを備えた光走査装置において、前記支持部が、前記光反射部を第1の方向に揺動可能に支持する第1の支持部と、前記光反射部を支持する第1の支持部を前記第1の方向と直交する第2の方向に揺動可能に支持する第2の支持部とを有することを特徴とする光走査装置。
IPC (2):
G06K 7/10 ,  G02B 26/10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • ガルバノミラー
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-275845   Applicant:株式会社リコー
  • 光偏向器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-246679   Applicant:キヤノン株式会社
  • 特開平1-321136
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