バンプ付ワークの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：滝本智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995193065
Publication number (International publication number)：1997045693
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】ワークの電極の表面に生じた酸化膜によるバンプと電極の接着不良や導通不良を解消でき、またコストダウンを図れるバンプ付ワークの製造方法を提供することを目的とする。【構成】治具13上にスクリーン印刷機によりバンプ14を形成した後、バンプ14をキュアにより仮硬化させる。次に治具13をワーク11に重ね、バンプ14をワーク11の電極12に押し付け、さらにキュアによりバンプ14を本硬化させる。するとバンプ14の突起aにより電極12の表面の酸化膜は破壊されて新鮮面が露出し、バンプ14はこの新鮮面にしっかり接着される。

Claim (excerpt)：

突起を有するバンプを治具上に形成する工程と、このバンプをワークの電極に押し付け加熱することにより、前記突起でこの電極の表面の酸化膜を破壊してこのバンプをこの電極に接着する工程と、前記治具を前記バンプから剥ぎ取る工程と、を含むことを特徴とするバンプ付ワークの製造方法。

IPC (2)：

H01L 21/321 , H01L 21/60 311

FI (2)：

H01L 21/92 604 F , H01L 21/60 311 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

電子部品およびその製造方法、並びに電子部品載置テーブル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-004679 Applicant：三菱電機株式会社
接続電極の作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-281627 Applicant：株式会社リコー
半導体部品におけるバンプ電極の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-057096 Applicant：ローム株式会社

Show all

Return to Previous Page