ネガ型感光性組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190059
Publication number (International publication number)：1993034921
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】 (a)アルカリ可溶性フェノール樹脂の水素添加物、(b)248nmの波長のグラム吸光係数が20(l/g・cm)以下であり、かつ酸性条件下でフェノール樹脂と反応する架橋剤及び(c)光酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物【効果】本発明のネガ型感光性組成物は、遠紫外光の吸光度が小さく、しかも高解像度のパターンプロフィールを達成することが可能であり、特に遠紫外線用フォトレジストとして極めて有用である。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ可溶性フェノール樹脂の水素添加物、(b)248nmの波長のグラム吸光係数が20(l/g・cm)以下であり、かつ酸性条件下でフェノール樹脂と反応する架橋剤及び(c)光酸発生剤を含有するネガ型感光性組成物

IPC (4)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/029 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平3-107162
特開昭59-113435
特開平3-075652

Show all

Return to Previous Page