ウェーハ位置決め装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994133496
Publication number (International publication number)：1996008328
Application date： Jun. 16, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】CCDリニアセンサを用いたウェーハ位置決め装置において、1つのCCDリニアセンサで誤差の少ない位置合わせ精度のウェーハ位置決め装置を提供する。【構成】ウェーハをたがいに直交方向に移動するXYステージ5,7と、ウェーハを回転させる回転ステージ3と、その回転角度を検出するエンコーダ4と、ウェーハ外周に光を投射するLEDアレー9と、その光を受ける位置に配置したCCDリニアセンサ10と、ウェーハを持ち上げるウェーハリフト11と、位置ズレ量及びオリエンテーションフラットの位置を計算し、その値に応じXYステージを駆動すると共に予め定められた位置にオリエンテーションフラットの位置を合わせる様に回転ステージを駆動する演算・制御部12とを備えるウェーハ位置決め装置。

Claim (excerpt)：

ウェーハを直交方向に移動するXYステージと、ウェーハを回転させる回転ステージと、その回転角度を検出する角度検出器と、ウェーハの外周に光を投射する投光部と、その光を受ける位置に配置したCCDリニアセンサと、ウェーハを持ち上げるリフトアップ部と、角度検出器とCCDリニアセンサの信号からウェーハ中心と回転ステージ中心との位置ズレ量及びオリエンテーションフラットの位置を計算し、おのおのの中心を合わせる様にXYステージを駆動すると共に、予め定められた位置にオリエンテーションフラットの位置を合わせる様に回転ステージを駆動する演算制御部とを備えることを特徴とするウェーハ位置決め装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , G01B 11/26 , H01L 21/027 , H01L 27/14

FI (2)：

H01L 21/30 503 A , H01L 27/14 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

縮小投影露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-176148 Applicant：日本電気株式会社
特開平1-169939
円弧部有する板状物の自動芯出し装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-361457 Applicant：タツモ株式会社

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