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J-GLOBAL ID：200903042404048651

気化器および気化器の気化性能評価方法

Inventor： 吉岡 尚規 ,  川本 達司 ,  川尾 満志 ,  松野 繁 ,  山田 朗 ,  宮下 章二 ,  内川 英興
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所 ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000292759
Publication number (International publication number)：2002110546
Application date： Sep. 26, 2000
Publication date： Apr. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 未気化残渣やパーティクルの発生を低減することができる気化器を提供。【解決手段】 気化チャンバ43に2つの噴霧部41,42を設け、類似の気化特性を有する液体材料4A,4Bは混合状態にして同一の噴霧部41から噴霧して気化面S12により気化する。一方、気化特性の異なる液体材料4Cは、別の噴霧部42より噴霧して気化面S11により気化する。気化面S11,S12の温度はそれぞれ温度調節装置48,50により独立に制御され、それぞれ液体材料4Cおよび液体材料4A,4Bに適した温度に制御されている。その結果、液体材料4A〜4Cの一部が未気化となったり加熱分化したりすることが低減され、残渣発生の低減を図ることができる。

Claim (excerpt)：

高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された前記液体材料を気化してCVD成膜装置に供給する気化器において、前記気化チャンバ内に、前記気化チャンバの温度とは独立に温度制御可能な気化面を備えたことを特徴とする気化器。

IPC (3)：

H01L 21/205 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/448

FI (3)：

H01L 21/205 ,  B01J 19/08 F ,  C23C 16/448

F-Term (23)：

4G075AA24 ,  4G075BB02 ,  4G075BC04 ,  4G075BD14 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA63 ,  4G075EB01 ,  4K030AA11 ,  4K030BA42 ,  4K030EA01 ,  4K030KA41 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045AF03 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EC07 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EK22 ,  5F045EK30 ,  5F045GB05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 液体運送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-351053   Applicant：現代電子産業株式会社
• 化学気相成長装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-063014   Applicant：三菱電機株式会社