圧電薄膜共振子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山下穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001182196
Publication number (International publication number)：2002374145
Application date： Jun. 15, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)、周波数温度特性に優れ、あるいは帯域幅、挿入損失、利得などの特性面で高性能な圧電薄膜共振子を提供する。【解決手段】基板12と、基板上に絶縁体層13を介して形成された圧電積層構造体14とを有する。絶縁体層13及び圧電積層構造体14の一部により振動部21が構成される。圧電積層構造体14は下部電極15、圧電体膜16および上部電極17を積層したものであり、基板12は振動部21に対応する領域にて振動部の振動を許容する空隙20を形成している。圧電体膜16は一般式Al<SB>1-</SB><SB>x</SB> Ga<SB>x</SB> N(但し、0<x<1)で表される窒化アルミニウムと窒化ガリウムとの固溶体または一般式Al<SB>1-y</SB> In<SB>y</SB> N(但し、0<y<1)で表される窒化アルミニウムと窒化インジウムとの固溶体よりなる配向性結晶膜である。

Claim (excerpt)：

圧電体膜とその両面にそれぞれ形成された電極とを含む圧電積層構造体の一部を含んで振動部が構成される圧電薄膜共振子であって、前記圧電体膜は一般式Al<SB>1-x</SB> Ga<SB>x</SB> N(但し、0<x<1)で表される窒化アルミニウムと窒化ガリウムとの固溶体または一般式Al<SB>1-y</SB> In<SB>y</SB> N(但し、0<y<1)で表される窒化アルミニウムと窒化インジウムとの固溶体よりなる配向性結晶膜であることを特徴とする圧電薄膜共振子。

IPC (4)：

H03H 9/17 , H01L 41/08 , H01L 41/083 , H01L 41/18

FI (4)：

H03H 9/17 F , H01L 41/08 S , H01L 41/18 101 A , H01L 41/08 D

F-Term (5)：

5J108AA04 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108EE03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

結晶フィルター構造および薄膜バルク弾性波共振器を利用したフィルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-138101 Applicant：ノキアモービルフォーンズリミテッド
電子デバイス用基板およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-343895 Applicant：ティーディーケイ株式会社
電子デバイス用基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-167686 Applicant：ティーディーケイ株式会社

Show all

Return to Previous Page