走査型探針装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993001276
Publication number (International publication number)：1993280922
Application date： Jan. 07, 1993
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】試料を高温に加熱しても、高分解能の動作、高速の動作を可能とする走査型探針装置を提供すること。【構成】試料1の表面に対向配置された探針6と、前記試料1と前記探針6とを前記試料表面に対して垂直な第1方向に相対的に移動させる第1圧電素子8と、前記探針と試料とを前記第1方向と直交する第2及び第3方向に相対的に移動させて、前記探針で前記試料の表面上を走査させる第2及び第3圧電素子3、4と、を備えた走査型探針装置において、前記第1〜第3圧電素子3、4、8のうち少なくとも1つの前記試料1に最も近接する圧電素子を単結晶体で形成するようにした。

Claim (excerpt)：

試料の表面に対向配置される探針と、前記試料と前記探針とを前記試料表面に対して垂直な第1方向に相対的に移動させ、前記探針と試料とを前記第1方向と直交する第2及び第3方向に相対的に移動させる移動手段とを備えた走査型探針装置において、前記移動手段は圧電体単結晶から構成される圧電素子を有することを特徴とする走査型探針装置。

IPC (3)：

G01B 7/34 , G01B 21/30 , H01L 41/18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平3-252506
特開平2-311702
走査型トンネル顕微鏡の探針
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-025610 Applicant：株式会社ミツトヨ