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J-GLOBAL ID：200903042772011172

光干渉計の干渉位相検出方式

Inventor：
山羽 常雄

About 山羽 常雄

, 
芹川 滋

About 芹川 滋

, 
鈴木 信彦

About 鈴木 信彦


Applicant, Patent owner：
日立電子エンジニアリング株式会社

About 日立電子エンジニアリング株式会社


Agent (1)： 飯塚 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289741
Publication number (International publication number)：2000121317
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 測定面の反射率が変動した場合でも、正確にその段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差を測定できるようにする。【解決手段】 レーザ光はビームスプリッタによって互いに偏光面が直交するように分岐される。分岐されたレーザ光に対して周波数変調が加えられ、参照面と測定面に照射される。参照面と測定面で反射したレーザ光同士の干渉波形を観察することによって測定面の段差間距離又は突起物の高さなどに相当する位相差を検出する。このとき、参照面は常に同じ面なので、その反射率は一定であるのに対して、測定面の反射率は常に変動する。反射率が低下すると反射光のショットノイズ成分によって干渉波形のS/N指数が著しく低下する。従って、この発明では測定面の反射率の変動に応じて分岐前のレーザ光をその光軸を中心に所定角度だけ回転させる偏光角調整手段を設けた。このように参照面及び測定面に照射されるレーザ光の強度を調節することによって、反射光のショットノイズによる影響を少なくし、干渉波形のS/N指数が著しく低下しないようにした。
Claim (excerpt)：
レーザ光を分岐し、分岐されたレーザ光を異なる周波数で変調し、参照面と測定面に照射し、そこからのそれぞれの反射光の干渉成分を受光することによって測定面の位相を検出する光干渉計の干渉位相検出方式において、前記測定面の反射率に応じて前記分岐前のレーザ光をその光軸を中心に所定角度だけ回転させる偏光角調整手段を設けたことを特徴とする光干渉計の干渉位相検出方式。
IPC (3)：
G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30
FI (3)：
G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 D
F-Term (31)：
2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG34 ,  2F064GG38 ,  2F064GG70 ,  2F064HH05 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD04 ,  2F065EE03 ,  2F065FF49 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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