Pat

J-GLOBAL ID：200903042797385905

赤外線センサ用薄膜、その製造方法、およびそれを用いた赤外線センサ

Inventor： 川合 知二 ,  唐山 英明 ,  金井 真樹 ,  田中 秀和
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学
Agent (1)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005092164
Publication number (International publication number)：2006278478
Application date： Mar. 28, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：

【課題】 室温においても優れた感度を示し、且つ、ノイズ発生も抑制された赤外線センサ用薄膜を提供する。 【解決手段】 単結晶構造基板上に、一般式(La1-xAEx)MnO3(ただし、0.02≦x≦0.5であり、AEは、BaまたはSr)で表される酸化物をエピタキシャル成長させて、赤外線センサ用薄膜を成膜する。前記基板の形成材料としては、前記酸化物の格子定数よりも大きい格子定数を有する材料であることが好ましい。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

酸化物から形成された赤外線センサ用薄膜であって、 前記酸化物が、一般式(La1-xAEx)MnO3(ただし、0.02≦x≦0.5であり、AEは、BaまたはSr)で表され、前記薄膜が、単結晶構造基板上に形成された薄膜であることを特徴とする赤外線センサ用薄膜。

IPC (3)：

H01L 37/00 ,  G01J 1/02 ,  H01C 7/04

FI (3)：

H01L37/00 ,  G01J1/02 C ,  H01C7/04

F-Term (7)：

2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065DA20 ,  5E034AA09 ,  5E034AB08 ,  5E034AC03