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J-GLOBAL ID：200903043207365978

感放射線性樹脂組成物ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成

Inventor：
米田 英司

About 米田 英司

, 
濱田 謙一

About 濱田 謙一

, 
志保 浩司

About 志保 浩司


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005289468
Publication number (International publication number)：2007101759
Application date： Oct. 03, 2005
Publication date： Apr. 19, 2007
Summary：
【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物、ならびにその組成物を用いて優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率、密着性等を併せ備えた層間絶縁膜、および優れた耐溶剤性、耐熱性、光透過率、密着性等を併せ備え、良好なメルト形状を有するマイクロレンズを形成する方法を提供すること。【解決手段】上記の感放射先生樹脂組成物は、〔A〕(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも1種、(a2)特定のオキセタン基含有不飽和化合物、(a3)特定の芳香族環含有不飽和化合物の共重合体、ならびに〔B〕1,2-キノンジアジド化合物を含有する。【選択図】なし。
Claim (excerpt)：
〔A〕(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも1種、 (a2)下記一般式(1)
IPC (6)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  C08F 220/02
FI (6)：
G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 A ,  C08F220/02
F-Term (36)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J100AJ01P ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BC43R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100JA33 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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